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Renishaw雷尼绍,RESOLUTE,UHV超高真空

2022-07-04 05:26:01  745次浏览 次浏览
价 格:8000

RESOLUTE UHV为超高真空应用提供非增量式光栅技术,帮助客户提高测量效率,降低损坏风险,并增强 可靠性。

RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的非增量式光栅技术,通过一个适合在低达10 -10 Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA)而不会污染真空环境,非常适合性能高、半导体和科研等应用领域。

顶部测量效率显著提高

RESOLUTE的性能优于其他所有为UHV环境设计的非增量式光栅。RESOLUTE的分辨率达到32位(直线光栅达到1 nm),速度达到36 000转/分(直线光栅达到100 m/s),其超凡的技术指标是光栅技术的一大新突破!

但RESOLUTE带来的不仅仅是高速度……先进的检测技术还兼具内在的超低电子细分误差 (SDE) 和极低噪音(抖动)特点。

顶部结果:

速度波动稳定性提高10倍

位置稳定性提高10倍

可重复性提高10倍

电机产生的热量减少

顶部降低损坏风险

RESOLUTE是一款真正的非增量式光栅,意味着开启之后立即确定位置。

无需“开启并晃动”

无需备用电池

立即实现对轴控制

快速电机换向

保持高负载

例如,这些特点意味着在断电后仍可以确保机器人对晶片进行拾取操作。

顶部可靠性增强

RESOLUTE的中心技术消除了几种与光栅反馈有关的很常见失效模式。每次读数头收到来自主控制器的请求时,RESOLUTE栅距图像,以此确定绝dui位置。图像包含高度冗余,而读数头应用复杂的交叉检查和错误剔除,将定位精度保持在1 nm范围内。这种技术意味着不会发生计数错误或者“丢数”情况。

此外,RESOLUTE采用独有的内置位置校验算法,在输出之前主动校验每个位置读数,以便在任何潜在问题到达控制器之前就能及时提醒。同时它还可以监测速度、信号状态和温度。

RESOLUTE使用纯串行通信向控制器发送已校验的位置信息。根据RESOLUTE使用的所有协议,应用CRC检查,以便能够检测出传输过程中的数据损坏。

顶部直线光栅和圆光栅

RESOLUTE UHV提供一系列适合各种直线光栅和圆光栅应用的栅尺。

顶部直线光栅选项

名称

材料

类型

精度

长度

RELA

ZeroMet

具有极低CTE的栅尺

±1 μm

1.13 m

RSLA

不锈钢

栅尺

长度1 m时精度±1.5 μm

长度2 m时精度±2.25 μm

长度3 m时精度±3 μm

长度5 m时精度±4 μm

5 m

RTLA

不锈钢

配合FASTRACK使用的钢带栅尺

±5 μm/m

10 m

RTLA-S

不锈钢

带自带不干胶的钢带栅尺

±5 μm/m

10 m

顶部圆光栅选项:

RESA圆栅具有低转动惯量和大通孔。尺寸从52 mm至550 mm。

REXA超高精度圆栅配用双读数头使用时保证精度优于±1角秒(在尺寸100 mm和更大的圆栅上)。尺寸从52 mm至550 mm。

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